一种外延炉用稳定性好的旋转放置基座

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摘要

本实用新型公开了一种外延炉用稳定性好的旋转放置基座，包括外基座、内基座和衬底固定座，所述内基座设置在外基座中，衬底固定座设置在内基座中；所述外基座、内基座、衬底固定座均呈圆形结构，且三者中轴线相互重合；所述外基座内部中空，设置有调节腔，所述内基座设置在调节腔中；所述内基座整体呈“凸”字形结构，在调节腔中设置有调节螺杆和限位导杆，所述调节螺杆、限位导杆均从内基座上穿过；所述内基座的上表面开有安装沉槽，所述衬底固定座设置在安装沉槽中，且衬底固定座尺寸与安装沉槽尺寸相互配合；本实用新型通过将传统基座拆分为内外基座，且二者能够上下调节位置，从而调节衬底的位置；设置衬底固定座，便于衬底的取放。

基本信息

专利标题：

一种外延炉用稳定性好的旋转放置基座

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921127562.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-17

授权号：

CN210765500U

授权日：

2020-06-16

发明人：

王光余

申请人：

无锡盈格科科技有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市贸易新村8号

代理机构：

北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

黄冠华

优先权：

CN201921127562.7

主分类号：

C23C16/44

IPC分类号：

C23C16/44