本实用新型提供了一种用于MOCVD真空设备尾气的管路监测装置，包括：第一管路组件、冷阱组件、动力设备、第一压差计和排放管路；第一管路组件包括第一管路和设置在第一管路上的阀门，第一管路的第一端与真空工艺腔室的出口相连，第一管路的第二端与冷阱组件的入口相连；排放管路与冷阱的出口相连通，动力设备设置在排放管路上；第一压差计的第一端与真空工艺腔室相连，第一压差计的第二端与第一管路相连。本实用新型的技术方案有效地解决了现有技术中的MOCVD在生产过程中管路堵塞不容易发现的问题。