一种节流器法向随机微振动的测量装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种节流器法向随机微振动的测量装置。本实用新型包括激光测振仪，电感测微头，X‑Y二维平移台，限位组件，高精度大理石平台，工控机及显示屏。节流器放置于高精度大理石平台上并使用限位组件限位；电感测微头垂直固定于节流器上表面；调节X‑Y二维平移台使激光测振仪的激光束依次落于每个待测点，测量通气稳定后节流器每个待测点的法向随机微振动，电感测微头测量气膜厚度。其中，限位组件中的直角型滚珠限位块限定节流器位置，滚珠与节流器侧面为点接触，减小节流器在法向振动时受的摩擦力。本实用新型同时测量节流器法向随机微振动及气膜厚度，精度高。
基本信息
专利标题 ：
一种节流器法向随机微振动的测量装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921135225.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-19
授权号 ：
CN210051433U
授权日 ：
2020-02-11
发明人 ：
刘雨航丁佳为沈小燕曹鹏飞李东升
申请人 ：
中国计量大学
申请人地址 ：
浙江省杭州市学源街258号中国计量大学
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921135225.2
主分类号 ：
G01H9/00
IPC分类号 ：
G01H9/00 G01B7/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01H
机械振动或超声波、声波或次声波的测量
G01H9/00
应用对辐射敏感的装置，例如光学装置，测量机械振动或超声波、声波或次声波
法律状态
2020-02-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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