一种真空涂层设备的冷却系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种真空涂层设备的冷却系统，包括第一换热器、第二换热器和高压泵，所述第一换热器和第二换热器管连接，所述第二换热器与所述高压泵管连接，所述高压泵的出水端连接有导管的一端，所述导管的另一端连接有进水管线，所述进水管线由三根进水管组成，三根进水管分别连接有真空涂层设备的阴极部、离子室和腔室夹套，所述阴极部、离子室和腔室夹套的出水端分别连接有出水管的一端，本实用新型设置了两个热交换器，使得冷却效果得到提升，冷却效果更为明显，其次设置了加热管线，冷却水在进行初步预冷后，由加热管线流入腔室，对腔室内部进行加热，有效避免腔体内的大气中的水分子被凝固并黏附于腔体表面。
基本信息
专利标题 ：
一种真空涂层设备的冷却系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921153416.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-22
授权号 ：
CN210420125U
授权日 ：
2020-04-28
发明人 ：
刘毅
申请人 ：
东莞市大晋涂层科技有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市大岭山镇金桔村科技工业园2号厂区内A1栋1楼106号
代理机构 ：
深圳市千纳专利代理有限公司
代理人 ：
刘晓敏
优先权 ：
CN201921153416.1
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22 C23C16/44
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2020-04-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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