一种复合硬质薄膜
授权
摘要
本实用新型公开了一种复合硬质薄膜，其特征在于：Ti层；TiN层，设于所述Ti层之上；耐磨层，设于所述TiN层之上，其中所述耐磨层包括周期性设置的复合结构，其中该复合结构包括至少一组依次层叠的CrTiZrN/CrZrC层与CrTiC/CrSiWN层，其中所述CrTiZrN/CrZrC层包括至少一组依次层叠的CrTiZrN层和CrZrC层，所述CrTiC/CrSiWN层包括至少一组依次层叠的CrTiC层和CrSiWN层。本实用新型还公开了一种制备上述复合硬质薄膜的制备方法。本实用新型的复合硬质薄膜具有硬度较高并且耐磨性能好、摩擦系数较低的优点，可以显著提高刀具的寿命，改善加工部件的表面质量。
基本信息
专利标题 ：
一种复合硬质薄膜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921157566.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-23
授权号 ：
CN210560711U
授权日 ：
2020-05-19
发明人 ：
陈君乐务时
申请人 ：
苏州涂冠镀膜科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区胜浦镇同胜路22号B栋
代理机构 ：
苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
叶栋
优先权 ：
CN201921157566.X
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C23C14/14 C23C14/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2020-05-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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