本实用新型公开了一种评价和校准轮廓测试仪器深沟槽测量能力的校准样件，包括基片、标准深沟槽结构以及解理引导结构；所述标准深沟槽结构由一系列平行放置、深度相同的分析沟槽组成；所述解理引导结构位于所述标准深沟槽结构两侧，可以是六面形、三角形、矩形或其组合形状，中轴线位于同一直线上，垂直于标准深沟槽结构长度方向。解理引导结构的加入可辅助剖面制样，将校准样件沿预定位置进行解理，将垂直方向的沟槽结构测量转换为水平方向的剖面结构测量，便于获得更为精确的深沟槽几何参数，实现对表面轮廓测量仪器的深沟槽测量能力的评价和校准；也使得深沟槽结构的测量不仅限于硅基材料，也适用于与非晶材料。