一种材料表面气体喷射装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种材料表面气体喷射装置，包括：待处理材料，及至少两个长方体状的喷头体，两个喷头体分别布置在待处理材料的上下表面，且喷头体与待处理材料之间间隔形成封装区；所述的喷头体包括：封装工作面，所述的封装工作面为与待处理材料表面待处理面积相对设置的表面，封装工作面与所述进气系统连接用于将携带反应物分子的工作气体射流在所述封装区内形成均匀的气体薄层，并在待处理材料表面上形成封装层；两个喷头体喷出的均匀气体薄层使得待处理材料上下表面均保持平整。本实用新型实现柔性高分子聚合物连续双表面处理的作业能力。
基本信息
专利标题 ：
一种材料表面气体喷射装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921205716.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-29
授权号 ：
CN210314479U
授权日 ：
2020-04-14
发明人 ：
贾培军郭鸿晨许淘元李瑞斌崔东旭赵超陈静升
申请人 ：
陕西煤业化工技术研究院有限责任公司;郭鸿晨
申请人地址 ：
陕西省西安市高新区锦业一路2号陕西煤业化工集团公司
代理机构 ：
西安通大专利代理有限责任公司
代理人 ：
李红霖
优先权 ：
CN201921205716.X
主分类号 ：
C23C16/455
IPC分类号 ：
C23C16/455 C23C16/52 C23C16/54 H01J37/32
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/455
向反应室输入气体或在反应室中改性气流的方法
法律状态
2020-04-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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