本实用新型公开一种使用超临界流体制备发泡粒子的装置，包括若干并联设置的通入氮气的预浸渍釜；将预浸渍釜内预压浸渍后的珠粒通入二氧化碳并加热的发泡釜；将从发泡釜卸料后与大气接触进行发泡的珠粒收集的收集器。本实用新型提供的装置通过先氮气浸渍，再进行二氧化碳和氮气混合浸渍的工艺实现两步法浸渍，利用二氧化碳和氮气的性质制得发泡倍率更大同时表面光洁的、泡孔细腻的发泡珠粒。同时通过泄压排料发泡让粒子在常温常压下充分自由膨胀发泡，并解决高温下粒子发泡时粒子间相互粘连、结块的问题。本实用新型采用多个预浸渍釜并联和发泡釜相连的方式，节省发泡釜的待机时间，提高生产效率。