本实用新型公开了一种湿法工艺制备氟化稀土用真空脱水炉，包括外炉体、内炉体和顶盖，所述外炉体的内部设有内炉体，内炉体的顶端外侧通过环形端盖固定连接外炉体的内壁，外炉体的顶部设有顶盖，顶盖与外炉体之间设有密封圈；内炉体的中心设有加热单元，内炉体的内部设有物料架；外炉体的外部设有夹套；外炉体的底部设有排水机构，该排水机构包括出水管，出水管的进口端连通外炉体的内部底部，出水管的出口端连接罐体，出水管上设有阀门；本实用新型设计双层炉体，并在内炉体内部进行加热脱水，脱水后的蒸汽会进入外部空间被冷凝，然后被排水机构收集，不需要持续的抽真空来保持真空度，从而避免冷凝结晶于抽真空管内，避免堵塞抽真空管。