一种氢氟酸生产系统

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摘要

本实用新型公开了一种氢氟酸生产系统，包括连接氟化氢供站和蒸汽加热器的蒸发锅、过滤塔、气液分离器、中间存储器、以及连接有冷却水注入系统的合成锅，蒸发锅的出料口与过滤塔的进料口相连接，过滤塔内包括有数根毛细管，数根毛细管上均设有一层过滤薄膜，过滤塔的出料口与气液分离器的进料口相连接，气液分离器的出料口与中间储存器的进料口相连接，中间存储器的出料口与合成锅的进料口相连接。本实用新型能够对制备氢氟酸的原料氟化氢进行多次过滤，可保证合成后氢氟酸的纯度。

基本信息

专利标题：

一种氢氟酸生产系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921253533.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-05

授权号：

CN210393709U

授权日：

2020-04-24

发明人：

童晨

申请人：

昆山晶科微电子材料有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市昆山市千灯镇致威路259号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201921253533.5

主分类号：

C01B7/19

IPC分类号：

C01B7/19