具有嵌入式加热器的面板
授权
摘要
公开了一种用于处理腔室的面板。所述面板具有主体，所述主体具有多个孔隙，所述多个孔隙穿过所述主体形成。挠曲件形成在所述主体中，部分地包围所述多个孔隙。切口在与所述挠曲件的公共半径上穿过所述主体形成。一个或多个孔口从所述切口的径向内表面延伸到所述主体的外表面。加热器设置在所述挠曲件与所述多个孔隙之间。所述挠曲件和所述切口是限制来自所述加热器的热传递从其经过的热扼流器。
基本信息
专利标题 ：
具有嵌入式加热器的面板
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921254411.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-05
授权号 ：
CN210182327U
授权日 ：
2020-03-24
发明人 ：
D·黄张宇星K·高希K·阿拉亚瓦里A·K·班塞尔
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
杨学春
优先权 ：
CN201921254411.8
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-03-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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