本实用新型公开了一种气动式精密元件真空吸附装置，包括一装夹用的手柄，以及设置于手柄头部的真空吸附头，真空吸附头包括一中间管，中间管的底部安装一连接盘，连接盘的底部环绕连接盘一圈设置有一根以上的吸附杆，一根以上的吸附杆中间围绕形成一个用于固定吸附用的圆形装夹腔，每根吸附杆的顶部均设置有一螺纹接头，连接盘的底部设置有螺纹接口，螺纹接头安装于螺纹接口中固定，所述中间管的一端设置有一个负压接头，负压接头上接一根负压管，负压管连接外部的负压泵。本实用新型可针对不同尺寸、外形的元件进行装夹并吸合，可针对复杂结构的元件的真空吸合搬运，且具有非常好的柔软性，防止刮花精密元件的外表面精度。