一种具有光纤监测功能的FRAME检查仪
授权
摘要
本实用新型公开了一种具有光纤监测功能的FRAME检查仪，涉及半导体芯片检查仪技术领域，为解决无法对料盒和夹具的位置状态进行检测，当其不在设备上时，设备依然运行存在误操作的问题。所述支撑底板的上方安装有直线模组，所述直线模组前端的一侧安装有限位机构，所述直线模组的一侧安装有电箱，所述电箱的上方安装有显微镜安装座，所述直线模组的一侧设置有料盒架光纤传感器，所述显微镜安装座的一侧设置有夹具光纤传感器，所述直线模组的前端设置有料盒架，所述料盒架的中间位置处设置有料盒架光纤探头槽，所述料盒架光纤探头槽的内部设置有料盒架光纤探头。
基本信息
专利标题 ：
一种具有光纤监测功能的FRAME检查仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921307077.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-13
授权号 ：
CN210392859U
授权日 ：
2020-04-24
发明人 ：
蓝爰毅
申请人 ：
深圳市东虹鑫静电器材有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区沙井街道万丰村大洋田工业区第12栋厂房第一层，第10栋第一、二层
代理机构 ：
深圳市朝闻专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
谭育华
优先权 ：
CN201921307077.8
主分类号 ：
B65G47/90
IPC分类号 ：
B65G47/90 B65G47/06 G01R31/26
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G47/00
与输送机有关的物件或物料搬运装置；使用这些装置的方法
B65G47/74
特殊种类或型式的供料、转移或卸料装置
B65G47/90
捡取或放下物件或物料的装置
法律状态
2020-04-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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