陶瓷盘等分旋转机构
授权
摘要
本实用新型涉及一种陶瓷盘等分旋转机构，包括工作台及设置在工作台上的等分旋转组件，等分旋转组件包括升降动力件、升降台、旋转动力件及定位台，定位台固定在工作台上，定位台中心具有通孔，升降动力件与升降台连接，升降台内具有气管，升降台上表面具有气孔，气管与气孔连通，升降动力件可驱动升降台升降以穿过定位台的通孔，旋转动力件与升降台连接，旋转动力件可驱动升降台轴向旋转。该陶瓷盘等分旋转机构通过等分旋转组件与定位组件相配合，定位准确可靠，可以实现陶瓷盘等分旋转，从而可以均匀地在陶瓷盘上贴合晶圆片，保证贴片的质量。
基本信息
专利标题 ：
陶瓷盘等分旋转机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921314094.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-14
授权号 ：
CN210040150U
授权日 ：
2020-02-07
发明人 ：
李继忠李述周朱春
申请人 ：
常州科沛达清洗技术股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市武进区潞城街道富民路299号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921314094.4
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/68 H01L21/677 H01L21/683
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-02-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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