一种用于精密仪器的防微震基座

授权

摘要

本实用新型涉及精密设备技术领域，具体为一种用于精密仪器的防微震基座，包括机体和底座，所述机体底端一体成型对称设置圆形凸块，所述圆形凸块卡接在第一放置槽中，所述第一放置槽设置在柱体上，柱体一体成型设置在主体的上端，所述主体底端卡接在第二放置槽中，所述第二放置槽一体成型设置在滑板上端，所述滑板两侧一体成型对称设置滑块，对于半导体及光电子无尘室精密测量机台的防微震基座，通过本实用新型可以快捷进行安装、拆卸和更换，从而保证防微震基座的防震性能，进而保证精密仪器的工作质量。

基本信息

专利标题：

一种用于精密仪器的防微震基座

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921316521.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-14

授权号：

CN210319099U

授权日：

2020-04-14

发明人：

商富祥商富彬

申请人：

江苏瑞鑫集成电路设备有限公司

申请人地址：

江苏省盐城市大丰区刘庄镇工业集中区

代理机构：

南京常青藤知识产权代理有限公司

代理人：

毛洪梅

优先权：

CN201921316521.2

主分类号：

F16M5/00

IPC分类号：

F16M5/00 F16F15/02