一种用于卧式真空镀膜机的导向机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于卧式真空镀膜机的导向机构，安装于真空镀膜室内，其设置有至少两条滑轨，所述滑轨设置有调节结构，以用于调节所述滑轨的高度和两条所述滑轨之间的宽度。本实用新型中的导向机构既可以调节宽度，也可以调节高度，可以适配设置在转台架上不同位置的滑轮，实现导向，可以有效解决卧式镀膜机的进出料导向问题，填补市场空白，实用性强。
基本信息
专利标题 ：
一种用于卧式真空镀膜机的导向机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921319564.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-14
授权号 ：
CN211497767U
授权日 ：
2020-09-15
发明人 ：
华冬辉李纲郑启发罗立珍
申请人 ：
湖南菲尔姆真空设备有限公司
申请人地址 ：
湖南省长沙市宁乡金洲新区金洲北路98号
代理机构 ：
广州嘉权专利商标事务所有限公司
代理人 ：
赵琴娜
优先权 ：
CN201921319564.6
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2020-09-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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