一种带支撑结构的卧式真空镀膜室
授权
摘要
本实用新型提供了一种带支撑结构的卧式真空镀膜室，包括工作台、镀膜室和料仓；镀膜室横向固定在工作台上，镀膜室的一端设有端盖；端盖通过移动座与工作台滑动连接；料仓与端盖固定连接，料仓的下方设有可折叠的支撑组件；端盖打开时，料仓从镀膜室内移出，支撑杆能在复位弹簧的作用下竖直支撑在料仓的底部，有效防止料仓在移动时向下偏移；端盖关闭时，支撑杆在受到挤压后能向下转动折叠，使端盖顺利闭合。
基本信息
专利标题 ：
一种带支撑结构的卧式真空镀膜室
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021454283.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-22
授权号 ：
CN212800516U
授权日 ：
2021-03-26
发明人 ：
渠艳良李雷
申请人 ：
派珂纳米科技（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区东富路32号4幢408室
代理机构 ：
苏州创策知识产权代理有限公司
代理人 ：
范圆圆
优先权 ：
CN202021454283.4
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2021-03-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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