本实用新型公开了一种曝光机真空吸盘，包括外壳和吸盘腔，所述吸盘腔位于外壳内腔，所述外壳内部两侧固定连接有支撑柱，所述支撑柱另一端固定连接有第一弹簧柱，且支撑柱通过第一弹簧柱与吸盘腔外壁两侧相连，所述外壳内侧下方通过第二弹簧柱与吸盘腔外壁下方相连，所述吸盘腔内壁两侧开设有卡口，所述卡口之间可拆卸连接有过滤装置，所述过滤装置包括环形架、第一支撑架和第二支撑架，本实用新型涉及真空吸盘技术领域。该曝光机真空吸盘，可以防止曝光机真空吸盘的压缩变形的问题，延长曝光机真空吸盘的使用寿命，同时可以有效防止曝光机真空吸盘在工作时杂物进入到真空吸盘内造成吸附能力减弱的问题。