一种用于光刻胶循环过滤的压力保护装置
授权
摘要

本实用新型提供一种用于光刻胶循环过滤的压力保护装置,包括第一储存罐、第二储存罐和控制器,第一储存罐通过若干过滤装置连通第二储存罐,第一储存罐的出液口通过管道连接供给泵,该装置通过压力检知器和供给泵电性连接,通过压力检知器检测过滤器前端管道的压力并传输至控制器,当压力超过设定值时,控制器控制供给泵停止工作,减轻管道内压力,保护过滤装置;过滤装置与主管道连接端的压力安全阀在管道压力超高时通过泄压管降压;过滤器由于分级过滤,后端过滤直径减小,单个过滤器不能满足过滤效率,采用双组并联过滤结构,前端过滤器分接两组过滤器,提高过滤装置的过滤效率。

基本信息
专利标题 :
一种用于光刻胶循环过滤的压力保护装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921368611.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-08-22
授权号 :
CN210154737U
授权日 :
2020-03-17
发明人 :
陈武档周国波赖艺珠梁荣增宋里千
申请人 :
福建泓光半导体材料有限公司
申请人地址 :
福建省漳州市高新区九湖镇林前村林前773号
代理机构 :
北京立成智业专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
张江涵
优先权 :
CN201921368611.6
主分类号 :
G01L19/12
IPC分类号 :
G01L19/12  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L19/00
用于测量流动介质的稳定或准稳定压力的仪表的零部件或附件,就这些零部件或附件而论不是特殊形式的压力计所专用的
G01L19/08
指示或记录装置,例如,用于远距离指示的
G01L19/12
报警器或信号器的
法律状态
2020-03-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332