一种用于光刻胶生产的循环过滤装置
授权
摘要
本实用新型提供一种用于光刻胶生产的循环过滤装置，包括第一储存罐、过滤器和第二储存罐，所述第一储存罐与第二储存罐之间通过管道连接有过滤器，所述过滤器包括第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器且依次串联连接，过滤器通过多组串联分级过滤，依据滤膜过滤直径的分级形成精细过滤，提高过滤效率；滤膜为聚四氟乙烯材质，满足光刻胶对过滤材质的要求，不污染过滤液；所述供给泵通过给过滤液加压提高过滤速率和过滤液的输送。
基本信息
专利标题 ：
一种用于光刻胶生产的循环过滤装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921368622.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-22
授权号 ：
CN210495947U
授权日 ：
2020-05-12
发明人 ：
周国波陈武档赖艺珠梁荣增宋里千
申请人 ：
福建泓光半导体材料有限公司
申请人地址 ：
福建省漳州市高新区九湖镇林前村林前773号
代理机构 ：
北京立成智业专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张江涵
优先权 ：
CN201921368622.4
主分类号 ：
B01D61/00
IPC分类号 ：
B01D61/00 B01D63/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D61/00
利用半透膜分离的方法，例如渗析，渗透，超滤；其专用设备，辅助设备或辅助操作
法律状态
2020-05-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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