一种光刻胶生产自动过滤装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种光刻胶生产自动过滤装置，包括反应釜、滤芯和管路，反应釜底部通过管路与滤芯连接，管路上设置有液体泵I，滤芯下游接设有电磁阀I，电磁阀I下游接设返回管路和收集管路，返回管路与反应釜连接，收集管路下游接设合格液腔，滤芯和电磁阀I之间设置有颗粒计数仪I。本实用新型通过将取样口设置在过滤器后，避免了混合时间差对异物检测结果产生影响；并将取样口与颗粒计数仪连接，提高过滤效率，解放人力，实现实时取样检测，解决了数据检测的滞后性问题；在过滤器后增加一条管路，实现合格液的自动收集，不合格液自动返回循环；对合格液进行复测，保证含量检测的准确性。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻胶生产自动过滤装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123446643.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-31
授权号 ：
CN216726127U
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
康凯陈旺康威覃伯成
申请人 ：
深圳迪道微电子科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市坪山区坪山街道六联社区坪山大道2007号创新广场A601
代理机构 ：
南京苏创专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王华
优先权 ：
CN202123446643.3
主分类号 ：
B01D35/02
IPC分类号 ：
B01D35/02 B01D35/14 B01J4/00 B01J19/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D35/00
具有不专门包括在B01D24/00至B01D33/00组中的特征或应用的过滤装置；用于过滤的辅助装置；过滤器外壳结构
B01D35/02
适用于特殊场所的过滤器，如管道、泵、管塞
法律状态
2022-06-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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