过滤装置及光刻胶废液再生系统
实质审查的生效
摘要

本发明提供了一种过滤装置及废液再生系统,包括过滤器、进料管、出料管、检测件和控制件,其中,进料管、过滤器和出料管沿废液流动的方向依次连通;过滤器包括第一过滤件和第二过滤件,设有第一阀门的第一管道连通第一过滤件和第二过滤件,进料管和出料管均与第一过滤件和第二过滤件连接,进料管上设有进料阀,出料管上设有出料阀;检测件与控制件电连接,检测件用于检测过滤前后废液的固含量,并将固含量的结果传送至控制件,控制件与第一阀门、进料阀和出料阀电连接,用于根据固含量的结果控制第一阀门、进料阀和出料阀的开关,通过使过滤装置满足上述结构,有利于提升过滤效率且避免杂质堵塞。

基本信息
专利标题 :
过滤装置及光刻胶废液再生系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114470930A
申请号 :
CN202210150461.1
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2022-02-18
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
黄政尚韩永霖林锦昆沈军郑义承
申请人 :
福建钰融科技有限公司
申请人地址 :
福建省福州市江阴工业集中区
代理机构 :
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 :
李珊珊
优先权 :
CN202210150461.1
主分类号 :
B01D29/50
IPC分类号 :
B01D29/50  B01D29/60  B01D36/00  G03F7/30  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D29/00
不包括在组B01D24/00至B01D27/00中的过滤期间过滤元件不动的过滤器,例如压滤器或吸滤器;其过滤元件
B01D29/50
带有以相互布置为特征的多个过滤元件的
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B01D 29/50
申请日 : 20220218
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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