光刻胶废液回收装置
实质审查的生效
摘要

一种光刻胶废液回收装置,包括:精馏塔、再沸器和一级回收组件,精馏塔通过第一回流管和第二回流管与再沸器连通,精馏塔底的重物料经第一回流管输送至再沸器再沸后产生回流料,回流料经第二回流管输送至精馏塔;再沸器还产生第一物料,一级回收组件连通再沸器,用于接收再沸器排出的第一物料;一级回收组件包括第一管道、第二管道和第一换热器,第一管道连通再沸器和第一换热器并将第一物料运送至第一换热器,第二管道连通第一换热器并运送第二物料至第一换热器,第一物料和第二物料通过第一换热器进行热交换。本发明能够解决光刻胶废液在回收过程中产生的热能浪费的问题。

基本信息
专利标题 :
光刻胶废液回收装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114405037A
申请号 :
CN202210067661.0
公开(公告)日 :
2022-04-29
申请日 :
2022-01-20
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
沈军韩永霖林锦昆郑义承林秋玉
申请人 :
福建钰融科技有限公司
申请人地址 :
福建省福州市江阴工业集中区
代理机构 :
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 :
李珊珊
优先权 :
CN202210067661.0
主分类号 :
B01D3/14
IPC分类号 :
B01D3/14  B01D3/32  B01D3/42  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D3/00
蒸馏或相关的在液体同气体介质相接触的过程中发生交换的方法,例如汽提
B01D3/14
分馏
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B01D 3/14
申请日 : 20220120
2022-04-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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