光刻胶废液再生装置
实质审查的生效
摘要
一种光刻胶废液再生装置，用于回收光刻胶废液，包括精馏组件、第一回收罐、第一再沸器、吹扫器、第二回收罐和增压器，精馏组件和第一回收罐通过第一管道连通，精馏组件还和第一再沸器通过第一回流管连通，第一回收罐和第二回收罐通过第一出气管连通，增压器分别连通第二回收罐和第一再沸器，第一回收罐和吹扫器通过吹扫气管连通；第一回收罐包括清洁状态，第一回收罐的物料通过第一出料管流出，吹扫器向第一回收罐内输送氮气以此清洁第一回收罐，且氮气通过第一出气管流至第二回收罐，并经增压器增压后输送至第一再沸器进行二次清洁。
基本信息
专利标题 ：
光刻胶废液再生装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114488722A
申请号 ：
CN202210146600.3
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-02-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
郑义承韩永霖黄政尚林锦昆沈军
申请人 ：
福建钰融科技有限公司
申请人地址 ：
福建省福州市江阴工业集中区
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
李珊珊
优先权 ：
CN202210146600.3
主分类号 ：
G03F7/26
IPC分类号 ：
G03F7/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/26
申请日 : 20220217
申请日 : 20220217
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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