光刻胶回收装置
授权
摘要
本实用新型公开一种光刻胶回收装置,包括旋转组件、升降隔离组件及回收组件,升降隔离组件包括隔离挡板、顶升杆及升降驱动件,升降驱动件设置于基座上,顶升杆的一端与升降驱动件连接,顶升杆的另一端设置于隔离挡板上,并且隔离挡板收容于容置槽内,升降驱动件用于驱动顶升杆升降,进而使得隔离挡板做上下移动。本实用新型通过在废液回收槽体及光刻胶回收槽体之间设置隔离挡板,使得装置在处于不同状态的时候,可以升起或者下降隔离挡板,进而实现光刻胶和废液的分离回收,提高回收效率。本装置将清洁排液系统和生产排液系统分开,以达到光刻胶不被污染,可以有效地进行回收利用。
基本信息
专利标题 :
光刻胶回收装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021772822.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-21
授权号 :
CN213771334U
授权日 :
2021-07-23
发明人 :
张卫丽申浩司斌李伟界
申请人 :
信利(惠州)智能显示有限公司
申请人地址 :
广东省惠州市仲恺高新区新华大道南1号
代理机构 :
广州市华学知识产权代理有限公司
代理人 :
梁睦宇
优先权 :
CN202021772822.9
主分类号 :
B67D7/78
IPC分类号 :
B67D7/78 B67D7/02 B05B15/55 B05B15/50 B05B15/00 G03F7/16
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B67
开启或封闭瓶子、罐或类似的容器;液体的贮运
B67D
不包含在其他类目中的液体分配、输送或转送装置
B67D7/00
从大容积贮存容器或贮存库输入车辆或者移动式容器内的液体输送设备或装置,例如为了零售
B67D7/06
零件或附件
B67D7/78
贮液箱、贮液库或管路的布置
法律状态
2021-07-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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