本公开涉及一种光刻胶供应装置，包括用于存储光刻胶的供应容器(1)，所述供应容器(1)连接有用于将光刻胶导入涂胶槽的供胶管路(3)，所述供应容器(1)还连接有用于通入供压气体的进气管路(2)，以使所述供压气体能够将所述光刻胶压出所述供应容器(1)。通过上述技术方案，通过向供应容器(1)中通入供压气体以将光刻胶压出，取代了利用光阻泵通过抽取的方式导出光刻胶，能够避免当光刻胶粘度较大时，因受限于光阻泵最大抽吸力不足所导致的光刻胶供应不稳定的问题，提高了涂布的质量。