一种光刻胶匀胶显影机的供应装置
授权
摘要
本实用新型提供一种光刻胶匀胶显影机的供应装置，包括光阻瓶、缓存罐和喷嘴，光阻瓶通过第一输液管与缓存罐连通，光阻瓶通过内置光阻袋与第一输液管连接，通过氮气进入内腔挤压光阻袋输送，避免了光阻液与气体接触，防止光阻液凝固和产生气泡，光阻袋代替传统的不锈钢光阻桶的使用，避免光阻桶在余量不多的情况下不能使用的情况，提高了光阻液的使用效率，减少了浪费；瓶端口通过与第一输液管的密封设计，瓶盖与瓶端口相互挤压管盘，使管盘通过密封垫与出液口的密封，出液口内设有密封层，加强了光阻袋的密封效果；流量计检测光阻瓶输出的液量，便于计算余量，及时提醒人员更换。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻胶匀胶显影机的供应装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921368661.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-22
授权号 ：
CN210155512U
授权日 ：
2020-03-17
发明人 ：
陈武档周国波赖艺珠梁荣增宋里千
申请人 ：
福建泓光半导体材料有限公司
申请人地址 ：
福建省漳州市高新区九湖镇林前村林前773号
代理机构 ：
北京立成智业专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张江涵
优先权 ：
CN201921368661.4
主分类号 ：
G03F7/30
IPC分类号 ：
G03F7/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/30
用液体消除影像的
法律状态
2020-03-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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