显影机
授权
摘要

本实用新型公开了一种显影机,包括壳体、中间板、积液容器、硅片托板、摆动机构和升降机构;中间板上设有一对摆动孔,摆动机构包括摆动电机、摆动底板以及一对偏心轮,摆动底板上开设有一对与摆动孔对应的安装孔,摆动底板的两侧形成有与积液容器外表面匹配的弧形围板,积液容器放置于摆动底板上,并通过弧形围板所限位;偏心轮位于中间板与摆动底板之间,其两侧的连接轴上各安装有一滚珠轴承,且一对滚珠轴承分别嵌设于所述摆动孔与安装孔中;摆动电机设于中间板下方,其主轴伸入一摆动孔中,并固定连接于偏心轮的连接轴上。本实用新型的显影机,克服了手动显影的显影时间和效果不可控,还能减少操作人员对芯片/硅片的人为损坏。

基本信息
专利标题 :
显影机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921747702.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-17
授权号 :
CN210573193U
授权日 :
2020-05-19
发明人 :
聂富强
申请人 :
苏州汶颢微流控技术股份有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市工业园区方洲路128号
代理机构 :
苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
殷海霞
优先权 :
CN201921747702.0
主分类号 :
G03F7/30
IPC分类号 :
G03F7/30  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/30
用液体消除影像的
法律状态
2020-05-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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