一种显影设备
授权
摘要
本实用新型提供了一种显影设备，包括：显影单元和清洗液供给单元。其中，显影单元，用于通过喷嘴向显影腔体内的基板喷洒显影液以进行显影；清洗液供给单元，与所述喷嘴连通，用于在所述显影单元对所述基板进行显影完成后，将清洗溶液通过所述喷嘴喷洒出，以去除所述喷嘴中吸附的显影残留物。本实用新型提供的显影设备，可在每次完成显影工作后，自动清洗喷嘴上吸附的显影残留物，高效、快捷，消除了停机清洗喷嘴造成的产能损失，有助于提升生产效益。
基本信息
专利标题 ：
一种显影设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122961152.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-29
授权号 ：
CN216210480U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
陈力钧史衍方郑海昌王晓龙
申请人 ：
上海华力微电子有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区良腾路6号
代理机构 ：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
周耀君
优先权 ：
CN202122961152.6
主分类号 ：
G03F7/30
IPC分类号 ：
G03F7/30 G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/30
用液体消除影像的
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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