显影制程设备

专利权的终止

摘要

本实用新型主要涉及一种显影制程设备，尤其是指一种应用于液晶显示器之显影制程设备，其包含：一工作腔与一中间贮槽、一显影液循环系统，具有一连接管路，连接该工作腔与该中间贮槽、一喷嘴，配置于该工作腔内、以及一显影液承接组，对应于该喷嘴。藉由移动该显影液承接组，使其接近并靠住该喷嘴，并以该喷嘴进行显影液之假配药，最后再藉着该显影液承接组承接该显影液。因此，可控制关键尺寸之稳定性，并提升该显影液之回收率。

基本信息

专利标题：

显影制程设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820047228.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-04-30

授权号：

CN201311548Y

授权日：

2009-09-16

发明人：

叶奕志刘耀隆

申请人：

深超光电(深圳)有限公司

申请人地址：

518109广东省深圳市宝安区龙华镇民清路伍屋工业区东富龙民清宿舍1楼

代理机构：

东莞市中正知识产权事务所

代理人：

侯来旺

优先权：

CN200820047228.6

主分类号：

G03F7/30

IPC分类号：

G03F7/30

IPC结构图谱

G部——物理

G03

摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术

G03F

图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备

G03F7/00

图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备

G03F7/26

感光材料的处理及其设备

G03F7/30

用液体消除影像的

法律状态

2014-06-25 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101583127073
IPC(主分类) : G03F 7/30
专利号 : ZL2008200472286
申请日 : 20080430
授权公告日 : 20090916
终止日期 : 20130430

2009-09-16 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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