显影液供应系统

授权

摘要

本实用新型提供了一种显影液供应系统，包括通过若干管道顺次连接的供液设备、过滤器、温度调节单元及喷嘴，所述供液设备提供显影液，所述显影液经由所述过滤器及所述温度调节单元后从所述喷嘴排出，所述温度调节单元与所述喷嘴之间的管道连接有一排气泡管路，所述排气泡管路上设置有阀门。当所述管道内进入空气时会产生气泡，通过排气泡管路将含有气泡的显影液排出，避免了管道内的显影液压强减小以及显影液分布不均匀的问题，同时也避免了含有气泡的显影液喷洒在晶圆表面后引起的晶圆未被显影或显影不良的问题。此外，通过阀门即可控制排气泡管路的开闭，防止显影液在排放过程中容易溅射的问题，保证了操作人员的安全性。

基本信息

专利标题：

显影液供应系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020671981.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-27

授权号：

CN211698592U

授权日：

2020-10-16

发明人：

黄斌

申请人：

上海华力微电子有限公司

申请人地址：

上海市浦东新区良腾路6号

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

曹廷廷

优先权：

CN202020671981.3

主分类号：

G03F7/30

IPC分类号：

G03F7/30