显影液回收系统
授权
摘要

提供了显影液回收系统,该系统包括:显影液储罐,所述显影液储罐具有显影液入口和显影液出口;显影机,所述显影机具有显影液喷头、印版入口和显影后液出口,所述显影液喷头与所述显影液出口相连,所述显影后液出口与所述显影液储罐相连;显影液回收罐,所述显影液回收罐具有显影回收液入口和显影回收液出口,所述显影液入口与所述显影液储罐相连;光刻胶过滤装置,所述光刻胶过滤装置具有回收液入口、过滤后液出口和光刻胶出口,所述回收液入口与所述显影回收液出口相连,所述过滤后液出口与所述显影液入口相连,所述显影液回收罐上的出液口和所述光刻胶出口中的至少之一与所述显影液储罐相连。

基本信息
专利标题 :
显影液回收系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN109791374A
申请号 :
CN201780060322.7
公开(公告)日 :
2019-05-21
申请日 :
2017-08-23
授权号 :
CN109791374B
授权日 :
2022-05-17
发明人 :
区炜锋
申请人 :
深圳市柔宇科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市龙岗区横岗街道龙岗大道8288号大运软件小镇43栋
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201780060322.7
主分类号 :
G03F7/26
IPC分类号 :
G03F7/26  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
法律状态
2022-05-17 :
授权
2022-02-22 :
著录事项变更
IPC(主分类) : G03F 7/26
变更事项 : 申请人
变更前 : 深圳市柔宇科技有限公司
变更后 : 深圳市柔宇科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 518172 广东省深圳市龙岗区横岗街道龙岗大道8288号大运软件小镇43栋
变更后 : 518172 广东省深圳市龙岗区横岗街道龙岗大道8288号大运软件小镇43栋
2019-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/26
申请日 : 20170823
2019-05-21 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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