实时监控有效显影液浓度的方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明公开了一种实时监控有效显影液浓度的方法，该方法为：通过测量导电率来测量表观显影液浓度[TM′]，其特征在于：用分光光度法测量碳酸根浓度[CO32－]，再通过式I计算出有效显影液浓度[TM]：式I [TM]＝[TM′]－2[CO32－]。通过本发明的方法可以简单地、有效地、更准确地测量出显影液的实际浓度；本发明的方法还可适用于液晶、半导体光刻制程中的显影液浓度实时监控和管理。
基本信息
专利标题 ：
实时监控有效显影液浓度的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1996152A
申请号 ：
CN200510112266.6
公开（公告）日 ：
2007-07-11
申请日 ：
2005-12-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
徐华伟
申请人 ：
上海广电NEC液晶显示器有限公司
申请人地址 ：
201108上海市闵行区华宁路3388号
代理机构 ：
上海智信专利代理有限公司
代理人 ：
薛琦
优先权 ：
CN200510112266.6
主分类号 ：
G03F7/30
IPC分类号 ：
G03F7/30 G03F7/26 H01L21/027
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/30
用液体消除影像的
法律状态
2010-07-14 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101003243522
IPC(主分类) : G03F 7/30
专利申请号 : 2005101122666
公开日 : 20070711
号牌文件序号 : 101003243522
IPC(主分类) : G03F 7/30
专利申请号 : 2005101122666
公开日 : 20070711
2008-08-13 ：
实质审查的生效
2007-07-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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