显影液成分调整方法及其显影系统

专利权的终止

摘要

一种显影系统，包括一第一显影机台、一第二显影机台、一连通管以及一废液槽。第一显影机台包括一第一显影槽、一第一显影液循环槽、一第一废液管以及一第一废液控制阀，该第一显影槽连通该第一显影液循环槽，该第一废液管连接该第一显影液循环槽，该第一废液控制阀设于该第一废液管之上。第二显影机台包括一第二显影槽、一第二显影液循环槽、一第二废液管以及一第二废液控制阀，该第二显影槽连通该第二显影液循环槽，该第二废液管连接该第二显影液循环槽，该第二废液控制阀设于该第二废液管之上。连通管连通该第一显影液循环槽以及该第二显影液循环槽。废液槽连接该第一废液管以及该第二废液管。

基本信息

专利标题：

显影液成分调整方法及其显影系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1760765A

申请号：

CN200510126744.9

公开（公告）日：

2006-04-19

申请日：

2005-11-21

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

李易昌林奇峰徐启源

申请人：

友达光电股份有限公司

申请人地址：

台湾新竹市

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

魏晓刚

优先权：

CN200510126744.9

主分类号：

G03F7/30

IPC分类号：

G03F7/30 G03F7/26