含光刻胶的显影液的浓度调节装置
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摘要
本实用新型的一种含光刻胶的显影液的浓度调节装置，包括：显影机储罐；显影机储罐具有超纯水供应管路、原液（TMAH 25%）供应管路和标准液（TMAH 2.38%~2.58%）供应管路，各管路上分别设有流量计和阀门；显影机储罐还具有由出口管路、前管路、浓度测量管路、回流管路以及与浓度测量管路并联的浊度测量管路共同组成的循环管路，出口管路与显影机储罐底部的出液口相连接，在出口管路上设有取样泵；浓度测量管路上设有流量计和浓度计；浊度测量管路上设有浊度计。本实用新型可直接对显影液浓度进行管控，实时对回收的显影液浓度进行检查并管控，使显影液回收再生系统得到有效利用，大幅减少废液的产生和新显影液的投入。
基本信息
专利标题 ：
含光刻胶的显影液的浓度调节装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021600756.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-05
授权号 ：
CN212658943U
授权日 ：
2021-03-05
发明人 ：
金太周
申请人 ：
上海三盼半导体设备有限公司
申请人地址 ：
上海市松江区新桥镇新格路868号7幢102室
代理机构 ：
上海世圆知识产权代理有限公司
代理人 ：
陈颖洁
优先权 ：
CN202021600756.7
主分类号 ：
G03F7/30
IPC分类号 ：
G03F7/30 G03F7/32
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/30
用液体消除影像的
法律状态
2021-03-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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