一种显影液及其制备方法、光刻胶的显影方法
实质审查的生效
摘要
本申请提供了一种显影液及其制备方法、光刻胶的显影方法，所述显影液包括以下重量份数的各组分：1‑20份的碱，0.01‑5份的金属保护剂，0.01‑5份的表面活性剂，余量为水；其中，所述表面活性剂包括十二烷基苯磺酸盐、十二烷基硫酸盐、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸盐、重烷基苯磺酸钠、聚氧丙烯‑聚氧乙烯嵌段共聚物中的至少一种；所述金属保护剂包括山梨酸盐、苯甲酸盐、醋酸氯乙啶、甲基苯并三氮唑中的至少一种。该显影液显影速率适中、可控性强、显影分辨率高，且显影后基板的净度高、光刻胶侧壁的垂直度好、对基板无腐蚀。
基本信息
专利标题 ：
一种显影液及其制备方法、光刻胶的显影方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114509926A
申请号 ：
CN202111404428.9
公开（公告）日 ：
2022-05-17
申请日 ：
2021-11-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王维潘春林李自杰林秋玉
申请人 ：
福建中安高新材料研究院有限公司
申请人地址 ：
福建省福州市鼓楼区软件大道89号福州软件园G区13号楼二层201室
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
熊永强
优先权 ：
CN202111404428.9
主分类号 ：
G03F7/32
IPC分类号 ：
G03F7/32
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/30
用液体消除影像的
G03F7/32
所用的液体成分，例如，显影剂
法律状态
2022-06-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/32
申请日 : 20211124
申请日 : 20211124
2022-05-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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