一种光阻显影液

专利权的终止

摘要

一种光阻显影液，它含有Gemini型表面活性剂、碱性化合物和溶剂，其中，Gemini型表面活性剂具有(视图)结构式：式中，R₁、R₂、R₃、R₄、R₅、R′₁、R′₂、R′₃、R′₄、R′₅分别独立地选自氢、烷基、芳基、芳烷基、卤素；R₆为2～6个亚甲基；n为6－23的整数；本发明的显影液无需加入消泡剂即可获得非常好的显影性、消泡性、分散稳定性，并且图像无残渣。

基本信息

专利标题：

一种光阻显影液

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1963677A

申请号：

CN200510101307.1

公开（公告）日：

2007-05-16

申请日：

2005-11-08

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

金启明陈学刚董俊卿宫清何志奇

申请人：

比亚迪股份有限公司

申请人地址：

528119广东省深圳市龙岗区葵涌镇延安路比亚迪工业园

代理机构：

代理人：

优先权：

CN200510101307.1

主分类号：

G03F7/32

IPC分类号：

G03F7/32

相关图片

IPC结构图谱

G部——物理

G03

摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术

G03F

图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备

G03F7/00

图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备

G03F7/26

感光材料的处理及其设备

G03F7/30

用液体消除影像的

G03F7/32

所用的液体成分，例如，显影剂

法律状态

2021-10-26 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G03F 7/32
申请日 : 20051108
授权公告日 : 20091104
终止日期 : 20201108

2015-09-23 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移变更后权利人 : 518119 广东省深圳市大鹏新区葵涌镇延安路1号比亚迪公司实验楼
登记生效日 : 20150901
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101721179587
IPC(主分类) : G03F 7/32
专利号 : ZL2005101013071
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 比亚迪股份有限公司
变更后权利人 : 深圳市比亚迪电子部品件有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 528119 广东省深圳市龙岗区葵涌镇延安路比亚迪工业园

2009-11-04 ：

授权

2007-11-21 ：

实质审查的生效

2007-05-16 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

CN100557514C.PDF

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2、

CN1963677A.PDF

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