节约光阻液的光阻液喷涂系统
授权
摘要

一种节约光阻液的光阻液喷涂系统,包括:储液罐,用于储存和供应光阻液;第一过滤器,用于过滤光阻液的杂质;缓冲器,用于排除光阻液的微气泡,并用于缓存和提供光阻液;所述第一过滤器设置于所述储液罐与所述缓冲器之间;光阻液泵,用于将所述缓冲器内的光阻液输送至使用端;所述缓冲器连接有回抽管,所述回抽管第一端伸入所述缓冲器内部,第二端连接至所述第一过滤器前端;所述回抽管安装有回抽泵;所述回抽管和所述回抽泵用于将所述缓冲器内的光阻液回抽至所述第一过滤器前端。所述光阻液喷涂系统能够节约光阻液,节省成本。

基本信息
专利标题 :
节约光阻液的光阻液喷涂系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020488161.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-07
授权号 :
CN212820559U
授权日 :
2021-03-30
发明人 :
尹安和
申请人 :
芯米(厦门)半导体设备有限公司
申请人地址 :
福建省厦门市火炬高新区(翔安)产业区春风路6号第三层301
代理机构 :
厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
吴圳添
优先权 :
CN202020488161.0
主分类号 :
B05B9/04
IPC分类号 :
B05B9/04  B05B15/00  B05B15/40  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05B
喷射装置;雾化装置;喷嘴
B05B9/00
喷射装置,用于排放液体或其他流体基本上不与气体或蒸气混合
B05B9/03
以供给液体或其他流体的方法为特征的
B05B9/04
带有压力容器或压缩容器;带有泵的
法律状态
2021-03-30 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN212820559U.PDF
PDF下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332