双缓冲型光阻液喷涂系统
授权
摘要
一种双缓冲型光阻液喷涂系统，其特征在于，包括：第一储液罐，第一过滤器；第一缓冲器；所述第一过滤器设置于所述第一储液罐与所述第一缓冲器之间；所述第一缓冲器连接有第一回抽管；所述第一回抽管安装有第一回抽泵；第二储液罐；第二过滤器；第二缓冲器；所述第二过滤器设置于所述第二储液罐与所述第二缓冲器之间；所述第二缓冲器连接有第二回抽管；所述第二回抽管安装有第二回抽泵；还包括以下两种结构的其中一种：第一种结构，包括选择机构和总光阻液泵；第二种结构，包括选择机构、第一光阻液泵和第二光阻液泵。所述双缓冲型光阻液喷涂系统能够更好地节省光阻液，并且保证光阻液供应不停机。
基本信息
专利标题 ：
双缓冲型光阻液喷涂系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020487577.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-07
授权号 ：
CN212820700U
授权日 ：
2021-03-30
发明人 ：
尹安和
申请人 ：
芯米（厦门）半导体设备有限公司
申请人地址 ：
福建省厦门市火炬高新区(翔安)产业区春风路6号第三层301
代理机构 ：
厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
吴圳添
优先权 ：
CN202020487577.0
主分类号 ：
B05B15/40
IPC分类号 ：
B05B15/40 B05B9/04 B05B12/14 B01D35/12
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05B
喷射装置；雾化装置；喷嘴
B05B15/00
其他类目中不包括的喷射设备或喷射装置的零件；附件
B05B15/40
喷嘴出口上部的过滤器
法律状态
2021-03-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN212820700U.PDF
PDF下载
