光阻剂分配系统及光阻剂的回收方法
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摘要
一种光阻剂分配系统及光阻剂的回收方法。本揭示描述了一种当光阻剂清洗流过新光阻剂过滤器时，可以用来移除光阻剂中空气微气泡的方法。例如，该方法包括使光阻剂流过光阻剂过滤器以移除捕集在光阻剂通过光阻剂过滤器中产生的空气微气泡；在缓冲槽中收集具有空气微气泡的光阻剂；在缓冲槽中移除光阻剂中的空气微气泡；以及将没有空气微气泡的光阻剂从缓冲槽转移到光刻设备。
基本信息
专利标题 ：
光阻剂分配系统及光阻剂的回收方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110652751A
申请号 ：
CN201910572249.2
公开（公告）日 ：
2020-01-07
申请日 ：
2019-06-28
授权号 ：
CN110652751B
授权日 ：
2022-04-15
发明人 ：
林家任洪培钧林鸿振
申请人 ：
台湾积体电路制造股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路八号
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐金国
优先权 ：
CN201910572249.2
主分类号 ：
B01D19/00
IPC分类号 ：
B01D19/00 B01D19/02
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D19/00
液体的脱气
法律状态
2022-04-15 ：
授权
2020-02-04 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B01D 19/00
申请日 : 20190628
申请日 : 20190628
2020-01-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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