光阻喷吐系统

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摘要

一种光阻喷吐系统，包括：步进电机，所述步进电机具有电机转轴；编码器，所述编码器设置在所述电机转轴周边；驱动轮，所述驱动轮套设在所述电机转轴上；第一光阻泵，所述第一光阻泵具有第一外壳和第一内隔膜，所述第一外壳具有第一输入口、第一输出口和第一侧开口，所述第一内隔膜内衬在所述第一外壳里面，所述第一输入口和所述第一输出口之间通过所述第一内隔膜连通；升降螺杆，所述升降螺杆的第一端用于通过所述第一侧开口向所述第一内隔膜进行推压和松放操作；从动轮，所述从动轮套设在所述升降螺杆上；传动带，所述驱动轮通过所述传动带带动所述从动轮。所述光阻喷吐系统运行平稳，可靠性高。

基本信息

专利标题：

光阻喷吐系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020487525.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-07

授权号：

CN212596833U

授权日：

2021-02-26

发明人：

尹安和

申请人：

芯米（厦门）半导体设备有限公司

申请人地址：

福建省厦门市火炬高新区(翔安)产业区春风路6号第三层301

代理机构：

厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

吴圳添

优先权：

CN202020487525.3

主分类号：

B05C11/10

IPC分类号：

B05C11/10 H01L21/67