光阻涂布装置
授权
摘要
本实用新型涉及液晶显示器件生产设备技术领域，公开了一种光阻涂布装置，包括工作台，工作台上包括工作室、涂布器和涂布导轨，其中，工作室包括基板承载平台、真空抽气口和加热装置。本实用新型的光阻涂布装置在一个工作室中完成对基板的涂布、真空干燥和烘烤处理，提高集成度，降低基板的传送次数，降低基板的输送时间，提高了生产效率，提高生产产能。
基本信息
专利标题 ：
光阻涂布装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021817299.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-27
授权号 ：
CN212569417U
授权日 ：
2021-02-19
发明人 ：
汪杰杨莉
申请人 ：
昆山龙腾光电股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市龙腾路1号
代理机构 ：
北京成创同维知识产权代理有限公司
代理人 ：
蔡纯
优先权 ：
CN202021817299.7
主分类号 ：
G03F7/16
IPC分类号 ：
G03F7/16 G02F1/13
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/16
涂层处理及其设备
法律状态
2021-02-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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