浸润式光阻涂布装置
授权
摘要

本实用新型有关于一种浸润式光阻涂布装置,用于将一全像图图案转移至一饰材,浸润式光阻涂布装置包括:一基座、装有光阻材料的一容器及一圆柱形滚轮。基座具有一第一致动构件;圆柱形滚轮设置于一轮轴上,并与第一致动构件电性连接。其中第一致动构件能使圆柱形滚轮与容器产生一相对位移,且在光阻材料以浸润式涂布于圆柱形滚轮后的状态下,第一致动构件能于容器中或容器外旋转圆柱形滚轮,以将光阻材料均匀涂布至圆柱形滚轮上。本实用新型的浸润式光阻涂布装置,可使光阻材料涂布地更均匀且缩短制作时间。

基本信息
专利标题 :
浸润式光阻涂布装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922183973.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-09
授权号 :
CN211180528U
授权日 :
2020-08-04
发明人 :
林刘恭
申请人 :
光群雷射科技股份有限公司
申请人地址 :
中国台湾新竹科学园区
代理机构 :
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 :
韩嫚嫚
优先权 :
CN201922183973.4
主分类号 :
G03F7/16
IPC分类号 :
G03F7/16  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/16
涂层处理及其设备
法律状态
2020-08-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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