光阻液烘烤装置

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摘要

本实用新型公开了光阻液烘烤装置，包括烘烤箱体，所述烘烤箱体正面开设有密封门，所述烘烤箱体的下表面安装有多个支撑腿，所述烘烤箱体包括位于其顶部的顶盖板，所述烘烤箱体的内底壁为倾斜型漏斗状，所述烘烤箱体的下表面固定连接有连通其内部的清理管，所述烘烤箱体的内侧壁嵌设有轴承圈。该光阻液烘烤装置，采用脱水热风机将空气加热，并去除空气中的水分子，将热气输送至烘烤箱体内部来对产品表面的光阻液进行烘干，使其固化，采用驱动电机带动整体分流圆环管转动，使热气均匀的对转动架上表面的产品进行烘干，采用热气烘干的好处在于热介质空气与产品为包裹式接触，使其由外向内均匀干燥，避免光阻缺点的产生。

基本信息

专利标题：

光阻液烘烤装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922334841.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-24

授权号：

CN211348995U

授权日：

2020-08-25

发明人：

不公告发明人

申请人：

刘庆

申请人地址：

山东省济宁市微山县城后路63号

代理机构：

北京艾皮专利代理有限公司

代理人：

郭童瑜

优先权：

CN201922334841.7

主分类号：

G03F7/38

IPC分类号：

G03F7/38