光阻烘烤装置和光阻烘烤设备

授权

摘要

本实用新型涉及显示技术领域，其实施例公开了一种光阻烘烤装置和光阻烘烤设备，该光阻烘烤装置包括由底板和盖板围合组成的烘烤腔体，还包括位于该底板上的加热板以及与该加热板电连接的控制器，该加热板用于放置待烘烤基板；该盖板在与该加热板相对的一侧上设有多个阵列排布的温度调节组件，多个该温度调节组件分别与该控制器电连接，并通过该控制器分别调节每个该温度调节组件的加热温度。该光阻烘烤装置可以根据不同情况对产品线宽尺寸进行局部调整，改善产品线宽尺寸的均一性；还可以有效改善光阻涂布时起刀部的局部线宽尺寸偏大或偏小的问题，提高了该光阻烘烤装置的使用灵活性。该光阻烘烤设备包括如上所述的该光阻烘烤装置。

基本信息

专利标题：

光阻烘烤装置和光阻烘烤设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022005611.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-14

授权号：

CN213240806U

授权日：

2021-05-18

发明人：

汪杰杨莉

申请人：

昆山龙腾光电股份有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202022005611.9

主分类号：

G03F7/38

IPC分类号：

G03F7/38