一种光阻涂布装置

授权

摘要

本实用新型涉及涂布技术领域，具体为一种光阻涂布装置，包括涂布装置，所述的涂布装置的上端两侧固定连接有搭架，且所述的搭架的两端安装有固定板；所述的涂布装置上端有安装用于进行涂布的涂布机构，所述的涂布机构通过固定架调节固定在涂布装置的上端，本实用新型通过设置的一种涂布装置，通过涂布时通过可调节的固定架，在进行涂布时，可以通过调节涂布筒在涂布装置上端的安装位置，使得涂布筒能够在不同的位置进行涂布，使得涂布的位置可调节，保证了涂布过程的灵活性，同时无需加装涂布装置，降低了加工的成本，同时提高了加工的效率。

基本信息

专利标题：

一种光阻涂布装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022399368.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-10-26

授权号：

CN213581732U

授权日：

2021-06-29

发明人：

钟兴进

申请人：

广州市鸿浩光电半导体有限公司

申请人地址：

广东省广州市增城区新塘镇荔新十二路96号9幢103房

代理机构：

广州正驰知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

洪安鹏

优先权：

CN202022399368.3

主分类号：

G03F7/16

IPC分类号：

G03F7/16