提高图案化性能的光阻剂

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

一种光阻剂，包含碱溶性树脂、光敏剂和溶剂。碱溶性树脂包含由间甲酚合成的第一类酚醛清漆树脂，第一类酚醛清漆树脂的平均分子量为大约8000至25000并且其多分散指数为四或更小。第一类酚醛清漆树脂在碱溶性树脂中的含量为大约5wt.％至30wt.％。光阻剂还可包含由间甲酚和对甲酚的混合物合成的第二类酚醛清漆树脂。第二类酚醛清漆树脂的平均分子量为大约2000至6000，并且间甲酚与对甲酚的重量比为4∶6。第二类酚醛清漆树脂在碱溶性树脂中的含量为大约70wt.％至95wt.％。

基本信息

专利标题：

提高图案化性能的光阻剂

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1818783A

申请号：

CN200610003206.5

公开（公告）日：

2006-08-16

申请日：

2006-01-27

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

李东基李义国

申请人：

三星电子株式会社

申请人地址：

韩国京畿道

代理机构：

北京铭硕知识产权代理有限公司

代理人：

郭鸿禧

优先权：

CN200610003206.5

主分类号：

G03F7/039

IPC分类号：

G03F7/039