一种显影液制备装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种显影液制备装置，包括原料罐，所述原料罐设置输送机构连接反应罐，所述反应罐出液口连接分离管，所述分离管总管一端连接出液口、分管一端分别设置独立的电磁阀后连接二次反应罐，所述二次反应罐连接添加剂添加罐，所述二次反应罐出液口连接对应的显影液收集罐，所述反应罐出液口连接电磁阀后连接对应的显影液收集罐。本装置首先根据最大需求量配制合适的显影液，之后对配制出的显影液进行二次调配，配制出其他的不同性能的显影液，并且显影液的反应罐采用了新型的搅拌结构，效果更好且速度快，并且在显影液输出管上设置检测结构，能够检测显影液方便进行后续操作。
基本信息
专利标题 ：
一种显影液制备装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922038295.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-22
授权号 ：
CN211015016U
授权日 ：
2020-07-14
发明人 ：
邵暾
申请人 ：
苏州费米苏路兴电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区苏州大道东381号商旅大厦6幢904室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201922038295.2
主分类号 ：
G03F7/32
IPC分类号 ：
G03F7/32
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/30
用液体消除影像的
G03F7/32
所用的液体成分，例如，显影剂
法律状态
2020-07-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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