一种显影液喷吐量称量装置
授权
摘要
本申请提供一种显影液喷吐量称量装置,所述称量装置包括:显影液喷嘴,被配置为喷吐显影液;称量工具,设置于所述显影液喷嘴正下方;升降装置,与所述显影液喷嘴相连,被配置为控制所述显影液喷嘴升降;距离传感器,设置于所述称量工具面向所述显影液喷嘴的一面,被配置为测量所述显影液喷嘴与所述称量工具之间的距离;处理器,与所述距离传感器通讯连接,被配置为接收所述距离传感器的测量结果并根据所述测量结果控制所述升降装置。本申请所述的一种显影液喷吐量称量装置,可以避免显影液喷嘴与称量工具发生碰撞,导致喷嘴发生形变而报废。
基本信息
专利标题 :
一种显影液喷吐量称量装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122870112.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-22
授权号 :
CN216246732U
授权日 :
2022-04-08
发明人 :
陈家柱叶勋蒋文昌姚宏忠高涛
申请人 :
中芯国际集成电路制造(深圳)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市坪山新区出口加工区高芯路18号
代理机构 :
北京市一法律师事务所
代理人 :
刘荣娟
优先权 :
CN202122870112.0
主分类号 :
G01G17/04
IPC分类号 :
G01G17/04 G01G23/18 G03F7/16
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01G
称量
G01G17/00
特殊形状或性质的材料的称量设备或方法
G01G17/04
用于称量流体,例如气体、糊状材料
法律状态
2022-04-08 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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