一种显影液组合物
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种显影液组合物，所述显影液组合物包括有机胺、表面活性剂及有机溶剂，所述有机胺选自具有式Ⅰ、式Ⅱ或式Ⅲ结构的一种或多种有机胺。本发明的显影液，通过加入特定的有机胺，在确保分辨率的同时还可改善直线边缘的粗糙度及缺陷，扩大光刻工艺的窗口。
基本信息
专利标题 ：
一种显影液组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114265289A
申请号 ：
CN202111678801.X
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2021-12-31
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
马晓明王健杨晓松
申请人 ：
苏州润邦半导体材料科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市张家港保税区港澳路15号传感产业园一楼北侧106A室（润邦）
代理机构 ：
苏州启华专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
徐伟华
优先权 ：
CN202111678801.X
主分类号 ：
G03F7/32
IPC分类号 ：
G03F7/32
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/30
用液体消除影像的
G03F7/32
所用的液体成分，例如，显影剂
法律状态
2022-04-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/32
申请日 : 20211231
申请日 : 20211231
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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